詳細(xì)介紹
【商品名稱】:擴(kuò)散爐TK180 |
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【生產(chǎn)廠家】:同志科技
【商品規(guī)格】:TK180 |
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【商品簡(jiǎn)介】:
擴(kuò)散爐專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體材料擴(kuò)散、氧化工藝;同時(shí)也用于太陽能電池行業(yè)的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜(LPCVD)工藝。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲,氣煉石英管作為爐膛, 可預(yù)抽真空并可通入?yún)⑴c反應(yīng)沉積的氣體。
溫度控制系統(tǒng)選用日本進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu),恒溫區(qū)溫度均勻。進(jìn)口或國(guó)產(chǎn)氣氛控制系統(tǒng),質(zhì)量流量計(jì)控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),是理想企業(yè)的研制、生產(chǎn)設(shè)備。 |
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【備 注】:
主要技術(shù)參數(shù)見下表:
項(xiàng)目 |
參數(shù) |
爐膛尺寸 |
ф180(外徑)×2200 mm |
加熱區(qū)長(zhǎng) |
700 mm |
溫區(qū)點(diǎn)數(shù) |
3 點(diǎn)/單管 |
工作溫度 |
RT~ 1200℃ (最高爐溫 1250℃ ) |
控制精度 |
±1 ℃ |
報(bào)警保護(hù) |
超溫、欠溫、斷偶、等報(bào)警保護(hù) |
升溫功率 |
12 KW/單管 |
重量 |
550 Kg |
注:用戶有何特殊要求可協(xié)商。
注意:如果產(chǎn)品升級(jí)恕不另行通知,網(wǎng)站及資料會(huì)同步升級(jí),并以實(shí)物為準(zhǔn)! |
本頁關(guān)鍵詞:擴(kuò)散爐,擴(kuò)散,半導(dǎo)體材料擴(kuò)散爐,擴(kuò)散工藝,氧化工藝,渡膜工藝
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